硅产品
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概要
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通过Cross Edge精微加工和彻底的品质化管理,获取高信赖度的硅产品..
提供符合客户不断技术创新所需的硅产品 |
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优点
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通过采用超高纯度的硅材料（单结晶/多结晶），实现了把尘粒污染抑制到最小限度的高品质工艺.由于和硅晶片拥有同等特性（热传导 率，比热，热膨胀率），所以产品的损伤少，能提高成品率以及产能.良好的热传导性，使产品的金属膜厚的分布均一和安定。
良好的耐热性，耐腐蚀性，在高温过程中，可提高耐久性。
可进行高精度，复杂形状的加工，100%对应客户的需求。
因为是纯硅材料，所以没有因分层而引起的污染，实现高信赖性。 |
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| 硅产品 |
CVD 密封环
（可对应固定夹具·各种装置） |
调焦环 |
洗浄工具 |
| 圆顶内壁板 |
管 |
销 |
光道波路玻璃片夹具
（固定夹具·可对应各种装置） |
工作台 |
喷嘴 |
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| 假片 |
| 出售晶片切断时的预切割和试验，评价用的假片 |
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【标准规格】
表面是单镜面/单面蚀刻，可对应下面的外径，厚度的变化。 |
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| 外径 |
厚(μm) |
| 4英寸 |
①400〜700 |
②500±25 |
③530±25 |
| 5英寸 |
①500〜700 |
②550±25 |
③625±25 |
| 6英寸 |
①500〜700 |
②450±50 |
③625±25 |
| 8英寸 |
①725〜25 |
②725±50 |
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| 12英寸 |
①775±50 |
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| 交货形态基本为美元，根据式样规格可交货。 |
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【其他】
根据式样规格，提供前工程用的无尘晶片(0.2μm以上30個以下）。 |
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Si/陶瓷等加工实例
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Si/AL2O3/AL/蓝宝石等的高精度精微加工。可切断宽度100μm的棒，积极地对应减低崩边的商谈。
擅长减低陶瓷成膜时的金属毛刺。 |
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