| ●小径穴加工 |
| ・最小φ0.1mmを実現 |
| ●φ300 mmウェーハまで対応可能 |
| （一部加工に関してはφ200mmまでの対応となります） |
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デバイスウェーハとの接合歩留まりを向上
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| ●穴周辺部のダレを抑制 |
| ●チッピングを低減 |
| ・≦10μmまで対応可能 |
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| 標準仕様 |
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| 材 料 |
各種ガラス |
| ガラスサイズ |
≦φ300mm(*) |
| 最小厚み |
0.15mm |
| 厚み公差 |
±0.01mm |
| 最小穴径 |
φ0.1mm |
| 穴形状 |
制約なし |
| 穴径公差 |
±0.02mm |
| チッピング |
≦100μm |
| 貫通穴断面形状 |
ストレート/テーパー/段付き |
| メタライズ加工 |
可能 |
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| ※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。 |
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