微細貫通穴と高アスペクト比の両立
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| ●0.1mm×0.1mmの多数貫通穴加工 |
| ・（例）3インチウェーハで150,000穴 |
| ●高アスペクト比（1：8〜10）において貫通穴形状の選択が可能 |
| ・ストレート形状、テーパー形状に対応 |
| ●チッピングレスを実現 |
| ・Siとの陽極接合時のコンタクト性が向上 |
オプション
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| ●側壁面へのメタライズが可能 |
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| ・光の干渉・吸収を防止 |
| ● キャビティー形状も可能 |
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| 標準仕様 |
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| 材 料 |
テンパックス 他 |
| ガラスサイズ |
≦φ150mm |
| 最小厚み |
0.25mm |
| 厚み公差 |
±0.01mm |
| 最小穴径 |
□0.07mm |
| 穴径公差 |
±0.02mm |
| 最大アスペクト比 |
1 : 10 |
| パーティクル処理 |
可能 |
| 貫通穴形状 |
ストレート/テーパー |
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| ※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。 |
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