クロスエッジ微細加工 メッキ・スパッタ・蒸着 home
メッキ・スパッタ

メタライズ+バンプ形成

  • 基板  ガラス
  • 下地  Ti 又はCr/Pt/Au
  • バンプ Cu φ0.15mm 厚み30μm
ブラスト貫通穴への導通メッキ

Cuメッキ表面 6μm

ブラスト貫通穴への導通メッキ

Cuメッキ底面 2μm

解説:
ガラス、セラミック、Si等のパターンメタライズ処理。
成膜構成:Ti/Pt/Au、Cr/Pt/Au、Cr/Ni/Au
尚、厚み30μmレベルの部分メッキも平面、凹凸問わず、対応可能です。
AuSn蒸着

LD用CuWサブマウント AuSn


面粗度:Ra 0.38μm
AuSn 溶解前
AuSn 溶解前
AuSn 溶解後
AuSn 溶解後

  バリ0.005mmMax
AuSn蒸着
AuSn蒸着
解説:
あらゆる製品(セラミック、金属部品、組立て部品形状)へのAuSn蒸着も対応しております。